世界最高水準のPZTスパッタ膜を安定成膜できます。(CMOS上成膜対応：PZT成膜温度 <500℃)
マルチチャンバー搭載で、PZT full stack(上下電極+PZT)を一貫成膜可能です。

… 圧電MEMS向けPZT膜スパッタリング

高いリフトオフ性と高品質な膜を実現する蒸着技術を提供します。 … 電極形成のためのリフトオフ蒸着