Vox(IR sensor)向け成膜/加工技術

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IR sensor制作に向けて必要となるVoxスパッタ技術および犠牲層除去に必要なアッシングの技術を紹介します。

Voxスパッタリング

安定した抵抗を確保するスパッタリング技術を実現

 犠牲層除去

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