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赤外線センサ（Infra-red‒, IR -）は，暗い夜中での可視化を実現するため重要なセンサで，対象物の熱を感知できるため，暗い夜中でも障害物（熱源のある動物など）を可視化できます。従来のアモルファスシリコン（Amorphous Silicon, a-Si）を用いた技術がありますが，近年，高性能化を実現するため新材料である酸化バナジウ ム（Vanadium Oxide, VOx）が 注 目 さ れ て い ます。VOx は，熱により抵抗が変化し、その抵抗変化が大きく，直線性が高いため，従来のアモルファスシルコンを用いた赤外線センサに比べてノイズを低減することができると期待されています。
IR sensorのプロセスフロー
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1. SiN膜成膜(PECVD) |
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2. Vox膜成膜(成膜)安定した抵抗値を確保するスパッタリング技術を提供 |
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3. SiN膜成膜(PECVD) |
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4. Voxエッチング(RIE) |
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5. SiNエッチング(RIE) |
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6. Al成膜(スパッタ、蒸着) |
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7. SiN成膜(PECVD) |
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8. 分離(RIE) |
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9. ダイアフラム構造形成(アッシング) |