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RF(Radio Frequency)とは、高周波のことである。 RFスパッタとは、真空チャンバとターゲットに交流(高周波)をかける。 交流なので、粒子の加速方向は電圧に合わせて変化する。
チャンバ側の電子は回路に流れ、ターゲット側の電子は、逃げ場を失い電子密度が高くなる。 それにより、ターゲット側がマイナスにバイアスされ、イオンがターゲットに衝突してスパッタリングすることができる。
金属、セラミックス、シリカ、酸化物、金属酸化物、窒化物、絶縁物などで使用可能。