光導波路は通信に光を用いる伝送路のことで石英系光導波路の作製は,石英系ガラス膜の堆積技術とエッチング微細加工技術とが基本になります。
… 光導波路向け製造プロセス
カテゴリー: Waveguide
光導波路向け加工技術
光導波路プロセスで必要となるドライエッチングの技術を紹介します。 … 光導波路向け加工技術
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