光導波路向け製造プロセス

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光導波路は通信に光を用いる伝送路のことで石英系光導波路の作製は，石英系ガラス膜の堆積技術とエッチング微細加工技術とが基本になります。

	1. Core&Bottom Cladの形成 Clad層とCore層を形成します。
	2. マスク形成エピ層をメサと呼ばれる円柱状に形成するためのマスクパターンを形成します
	3. フォトリソ工程
	4. マスク加工 Hard mask（Cr,Ni)をエッチングで加工します。光導波路向け加工技術の紹介
	5. PR剥離
	6. Core加工ハードマスクを使いCoreをエッチングします。光導波路向け加工技術の紹介
	7. ハードマスク剥離
	8. Above clad形成
	9. 電極形成

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