SAWデバイスとは、圧電体の薄膜、もしくは基板上に形成された規則性のあるくし形電極により弾性表面波を励振させる構成をもつフィルターデバイスです。
カテゴリー: SAW
SAWデバイス向け成膜/加工技術
SAWデバイス制作に向けて必要となる圧電膜の加工技術および電極形成で活用されるULVACの技術を紹介します。 … SAWデバイス向け成膜/加工技術
SAWデバイスとは、圧電体の薄膜、もしくは基板上に形成された規則性のあるくし形電極により弾性表面波を励振させる構成をもつフィルターデバイスです。
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