PE-CVD装置
Model： CME
这是最适合于硅基绝缘膜、阻隔膜等的成膜量产型PE-CVD装置。采用托盘输送方式，可对应多种基材，具有优异的性价比。
特性
- 支持27.12 MHz高密度等离子体处理
- 对应SiH 4类SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS类SiO 2膜
- NF 3 +Ar等离子可用于腔室清洗
- 托盘运输系统允许成膜到各种类型和基材的基材上
最大基材尺寸
型号：CME-200E 200mm□
型号：CME-400E 300×400mm□
型号：CME-500E 500mm□
用途
- 动力装置
- LED、LD和高速设备
- OLED
- 太阳能电池
- MEMS
