ULVAC
爱发科主要生产适用于各种工业领域的溅射靶材,精制和精密加工高性能材料(Ti、Ta、Nb、Zr等)。
ULVAC 的目标是“低颗粒”、“均匀的膜厚分布”和“高利用效率”。我们根据每种材料的制造方法来开发和制造高质量的溅射靶。
用于FPD制造设备的溅射靶材
面向半导体制造装置的溅射靶材
IGZO目标高迁移率材料
高纯度真空蒸发材料
ULVAC利用真空熔炼炉和真空热处理炉对钛、钽、锆等材料进行一体化制造。我们还提供高性能材料的精密加工,为各种行业做出贡献。
[Nb] 加速器用超导材料
[Ta] [Nb] 板
[Ta] [Nb] 条、线
[Ta] Nb管
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