IGZO靶材 高迁移率材料

爱发科生产和销售用于IGZO TAOS (采用In、Ga、Zn、O的透明无组织的氧化物半导体)的IGZO靶材。为了抑制颗粒，我们致力于提高靶材的密度和减少分割数，并为世界上大多数显示器制造商提供高质量的IGZO靶材材料，IGZO溅射设备和工艺。此外，ULVAC成功开发了长约3米的大型IGZO靶材。这种大型IGZO靶材有望从根本上解决TFT特性的恶化。

另外，应显示器制造商的要求，还开发了爱发科独自开发的高移动度氧化物半导体靶材，实现了以往IGZO靶材3倍左右的迁移率 (10cm ² /Vs) 。