材料
FPD制造设备专用
FPD制造设备专用
溅射靶材
在日益多样化，大型化的FPD（平板显示器）市场中，我们致力于提供高品质且稳定的材料供应。
・全球范围内的原材料保障
・大型靶材的质量管理设施及系统
（不仅支持G8代，还支持超大玻璃基板）
·与公司内部研究所协作，为客户提供最适合的生产工艺材料
特长
- 提供适用于TFT, OLED (LTPS:低温多晶硅)，触摸屏等各领域的溅射靶材
- 导入大型超声波探伤设备，通过对材料内部缺陷及接合部位进行精细检测，有效减少溅射过程中电弧的产生，从而提高了靶材的品质
- 我们在亚洲各国客户附近引进大型靶材绑定设备，提供完善的靶材供应体系和高可靠性的金属绑定技术
- 提供抑制颗粒产生的溅射靶材
- 通过调整金属成分实现高均匀性
低电阻Cu布线工艺用Cu-Mg-Al系合金
- 可实现低电阻布线工艺成膜的靶材（采用Cu-Mg-Al合金作为纯Cu氧化抑制阻隔层的叠层结构）
- 由于采用与布线层相同的Cu系材料，因此可通过湿法刻蚀进行加工(可使用不含水或氟酸的刻蚀液 (单液) 进行加工)
用于FPD的溅射靶材料
| 靶材 | Purity |
| Ti | 4N5 |
| Cu及Cu合金 | 4N |
| Ag及Ag合金 | 4N |
| Si & SiO2 | 4N |
| Mo | 3N5 |