提供与作为下部电极的Pt具有高选择性的Pt/PZT刻蚀工艺。(选择比例:PZT/Pt>5@8inch, >10@6inch)
此外还提供最小化下部电极刻蚀量的高均匀性(<+/-3%@8inch)和精密的End point检测。
提供与作为下部电极的Pt具有高选择性的Pt/PZT刻蚀工艺。(选择比例:PZT/Pt>5@8inch, >10@6inch)
此外还提供最小化下部电极刻蚀量的高均匀性(<+/-3%@8inch)和精密的End point检测。
可以稳定形成世界最高水平的PZT溅射膜。(MEMS on CMOS成膜对应:PZT成膜温度 <500℃)
搭载多腔室,可以实现PZT full stack(上下电极+PZT)一致成膜。
近年来MEMS器件技术不断进化,成为各种传感器、执行器不可或缺的存在。 … 压电MEMS的制造工艺
2016年1月22日,在首都北京中国科学院微电子所的会客室,株式会社爱发科社长小日向一行与北京微电子所所长叶甜春博士进行了交流,双方就中国国家半导体战略的前景与规划,以及世界新兴的IoT产业的蓬勃发展,交换了各自的想法,共同感知预见未来的力量。 … 中国半导体技术研发与制造的国家队— 中国科学院微电子研究所
快闪存储器(Flash Memory)是半导体存储器中作为数据存储的主要存储器技术,在半导体产品,从消费电子产品到客户端级、企业级以及数据中心等领域中,做为数据存储的媒介都有着广泛的应用。 … 3D NAND 快闪存储器
爱发科电子材料(苏州)有限公司,成立于2009年4月9日,总投资额7,317万美金,占地面积35,000平方米。公司地址位于江苏省苏州工业园区,工厂厂房于2010年8月竣工,公司成立至今已经走过了6个年头。 … 爱发科电子材料(苏州)有限公司
设立伊始,爱发科商贸(上海)有限公司(以下简称爱发科商贸)即被赋予爱发科集团全系列设备销售和售后服务的艰巨使命。 … 爱发科商贸(上海)有限公司
宁波爱发科真空技术有限公司【以下简称宁波爱发科】,坐落于美丽的港口城市宁波。 … 宁波爱发科真空技术有限公司成立20周年
2015年11月25日宁波爱发科低温泵有限公司以下简称(宁波低温泵)迎来了成立十周年纪念庆典,公司全体员工和以石黑社长为首,爱发科低温泵株式会社、 … 宁波爱发科低温泵有限公司成立10周年
作为超薄显像代表的有源矩阵型液晶显示器 (AM-LCD)已经进入了4K电视(3840×2160)及分 辨率在500ppi以上的智能手机等高清显示屏市场。 … 大型阴极靶溅射IGZO薄膜沉积技术