圧電MEMS技術の未来へ──アルバックが参画する「Lab-in-Fab」プロジェクトが新フェーズへ
共同開発プロジェクト「Lab-in-Fab(ラボ・イン・ファブ)」が、新たなフェーズに移行したことをお知らせします。今後も引き続きこの取り組みに参加し、技術の進展と社会への応用に貢献してまいります。
「Lab-in-Fab」とは?
Lab-in-Fabは、世界的な半導体企業であるSTマイクロエレクトロニクスがシンガポール・アンモーキオ・キャンパスを拠点に展開する共同研究プロジェクトです。圧電MEMSデバイスの研究開発から製造までを一貫して行える体制が整っており、大学、スタートアップ、中小企業、多国籍企業などが連携しながら、技術の商業化や人材育成を進めています。
圧電MEMS(Piezoelectric MEMS)は、微細な圧力や振動を電気信号に変換する次世代デバイスで、ウェアラブル機器、音声インターフェース、医療モニタ、ロボティクス、通信機器など、さまざまな分野での小型化・高性能化を支える重要な技術です。
アルバックの役割とこれまでの取り組み
アルバックは装置メーカーとして、圧電MEMSの成膜・加工技術を提供し、技術の実用化を支えています。プロジェクト初期フェーズ(2020年)では、STマイクロエレクトロニクスおよびシンガポール科学技術研究庁(A*STAR)傘下のInstitute of Microelectronicsと連携し、環境負荷の低減を目指して鉛の使用量を抑えたPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)薄膜の製造技術を開発しました。
新フェーズでは、A*STARのInstitute of Materials Research and Engineeringやシンガポール国立大学が新たに加わり、鉛フリーの環境配慮型材料の研究開発や、小型・低コストのセンサー、アクチュエーターの実現に向けた取り組みが進められています。
今後もアルバックは、装置技術の革新とグローバルな連携を通じて、次世代のものづくりの実現に向けて邁進してまいります。