プラズマ - ULVAC
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3. プラズマ発生方法

プラズマ発生方法は、沢山種類があります。その中で、アルバックはパッケージ(実装)製品に適したプラズマ源を採用しています。主に下記の放電方式があります。 Surface Wave Plasma (SWP) : マイクロ波の表面波によって誘電体透過窓表面に表面波を生成。この表面波によって、透過窓付近にプラズマを発生する方法。 Capacitively Coupled Plasma (CCP) : 2枚の金属電極に片方に高周波電源が接続されており、 極板間の電場形成によってプラズマを発生する方法。 Dual frequency Capacitively Couple Plasma (2-Freq CCP) :2枚の電極基板それぞれに異なる高周波電源が接続されているCCP方式。 アッシング装置紹介はこちら 実装工程プロセスの紹介はこちら お問い合わせはこちら

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