スパッタリング装置
ロードロック式
ロードロック式
ロードロック式
スパッタリング装置CS-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。
特長
- 従来のプロセスデータやノウハウを活かし、使いやすさのデザインを一新
- ロードロック室にカセット機構 (オプション) を搭載することにより生産性アップ
- 基板搬送サイズは最大Φ300mm (膜厚分布保証はセンタΦ200mm).
- 複数カソードでの積層 / 同時スパッタに対応
- タッチパネルからの自動プロセス、レシピ入力による省力化運転
- データロギング可能
用途
- 電極膜形成/多層電極及び同時成膜用途
- 誘電体膜形成、絶縁膜、パッシベーション、保護膜など
- 電子部品向け研究開発、及び小規模生産向け
