스퍼터링 장치
Model： CS
연구 개발부터 소규모 생산까지 대응하는 싱글 챔버식 스퍼터링 장치입니다. 종래의 프로세스 데이터나 노하우를 살려, 사용의 용이성을 중시한 디자인에 일신했습니다.
특징
- 복수 캐소드에서의 적층 스퍼터링에 대응이 가능
- 데이터 로깅 가능
- 기판 반송 능력은 최대 Φ300mm(성막 성능은 Φ190mm까지 보증)
- 레시피 제어에 의한 자동 다층 성막 가능
- 로드록실의 카세트에 최대 5장의 트레이를 수납할 수 있어 트레이는 매니퓰레이터로 자동 반송이 가능
용도
- 전자 부품용 연구 개발 및 소규모 생산용
