溅射装置
Model: ENTRON-EXX
这是一套多室型室溅射系统，支持多种设备的生产，包括尖端半导体逻辑、存储器（DRAM、NAND、下一代非挥发性存储器）、封装等。通过组合各种工艺模块（溅射、预清洗、加热、冷却）并增强数据收集和分析能力，我们为客户提供最佳的开发和生产环境。
特性
- 通过提供两种平台 (单台和串联*)，您可以根据您的工厂空间有效地布置设备，从而最大限度地提高单位空间的生产效率
- 可快速添加和更换模块的设计可灵活地满足不断变化的需求
- 多达12个模块(溅射、预清洁、加热和冷却)
- 与之前的型号相比，它具有更高的数据收集和分析性能，即使在日益复杂的半导体制造现场也能实时处理大量数据，有助于提高成品率、预防性维护和提高工作效率。
※单层设计简单、节省空间，并带有一个传送室 (芯) 。串联将两个传送室 (芯) 串联放置，适用于需要更高工作效率的复杂流程。