ULVACのエリプソメータ3つの特長

超高速測定

独特なスナップショット方式
の採用により、
最速20msの高速測定を実現

高信頼性

機械的、電気的な制御機構を一切
持たない投受光センサにより
メンテナンス低減と高い信頼性を実現

シンプル&コンパクト

従来とは一線を画したコンパクトな
デザインとシンプルで
操作性の良いソフトウェアを搭載

高速分光エリプソメータ ラインアップ

UNECSシリーズ紹介ビデオ

UNECS portable紹介ビデオ

軽量・コンパクトなポータブルタイプ

高速分光エリプソメータ
UNECS-Portable

測定部重量2.2kgで、持ち運びが容易。
小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属、
ステージから取り外して大型サンプルの測定もできます。

製品詳細

UNECS-Portable

φ150㎜対応の手動ステージタイプ

高速分光エリプソメータ
UNECS-1500M

操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを
装備、測定位置決めが容易に行なえます。

製品詳細

UNECS-Portable

マッピング測定が可能な自動ステージタイプ

高速分光エリプソメータ
UNECS-1500A/2000A/3000A

自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の
膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

製品詳細

UNECS-1500A/2000A/3000A

各種装置への組込みが可能なビルトインタイプ

高速分光エリプソメータ
UNECS-1M

軽量・コンパクトなセンサユニットにより、成膜装置などへの
組込みが容易。大気タイプ、真空タイプをラインナップ。

製品詳細

UNECS-1M
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