ULVACの電源を利用する3つのメリット

装置稼働率のUP

豊富な実験検証設備による
高い信頼性の実現

安心のサポート

全国34か所のサービス拠点、および
強力なASIAのサービスネットワーク

細かな要件に対応

40年におよぶ様々な電源経験を
活かした開発

ULVACの豊富な電源ラインアップ

RF電源 製品紹介ビデオ

DC電源 製品紹介ビデオ

EB電源 製品紹介ビデオ

DC電源 DPGシリーズ

長年培ってきた電源のアプリケーションノウハウを
設計に反映したスパッタリング用DC電源

製品詳細

DC電源 DPGシリーズ

異常放電防止器 A2Kシリーズ

後付けパルスユニット、高スループット異常放電防止
ユニット

製品詳細

異常放電防止器 A2Kシリーズ

RF電源 RFS-Nシリーズ

高速マッチング機能搭載プラズマプロセス用RF電源

製品詳細

RF電源 RFS-Nシリーズ

EB電源 HPSシリーズ

思いのままのSweep波形、エレクトロンビーム蒸発源専用の電源

製品詳細

EB電源 HPSシリーズ
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