Language：English
高速排気
大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能
低消費電力
ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現（C仕様）
到達圧力時の消費電力は
0.6kW以下（LS120A-C）
低騒音
専用サイレンサーを標準搭載
到達圧力時の騒音値は
61dB（A）以下
ランニングコスト
低減
従来必要だった軸シールガスが
不要
※L仕様はパージガスを
流す事が可能
- C仕様：クリーンプロセス（LS***A-C）
- 特徴：ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
用途：エアー排気やN2排気などのクリーン排気向け
スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々 - L仕様：ライトプロセス（LS***A-L）
- 特徴：表面処理、パージ機能を要するライトプロセスタイプ
用途：水蒸気や揮発性薬液排気などのライトプロセス向け
真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々
排気速度の比較
排気時間の比較
排気条件
チャンバー容積：100L、配管：2インチ、1m 排気目標：大気圧～10Pa迄
※本データは計算値です。放出ガス等の影響により実際とは異なる場合があります。
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