이온 주입 장치

Model： IH

파워 디바이스, SiC 디바이스용의 고온/상온 대응의 고에너지 이온 주입 장치 입니다.

특징

고온/상온의 전환이 즉시 가능
자동 연속 고온 처리 주입 가능
1가 이온으로 400keV, 2가 이온으로 800keV, 3가 이온으로 1200keV까지 대응
높은 처리량
Dual Platen(고온 스테이지 and 냉각 스테이지, ULVAC patent)
※고온 스테이지와 냉각 스테이지를 순간적으로 전환 가능/ 고온 정전 척 전압 펄스 적용 인가
※급속 가열에 의한 기판 데미지 경감/프리히트실에 의한 가열 시간 단축
체인 주입 가능하기 때문에 운전자의 부하 경감
컴팩트한 디자인
시작부터 양산까지 폭넓게 대응 가능
IH-860PSIC는 Φ150mm, IH-1200PSIC는 Φ200mm 기판까지 대응