Model： ei-5、EVD-600LP

특징

Model： ei

• 다양한 증발원(EB, 저항, EB+저항)을 탑재 가능
• 공정에 따른 기판 홀더 기판 리프트 오프, 유성, 위성 등)
• PC에 의한 뛰어난 조작성・기능(레시피 기능, 데이터 로깅, 메인터넌스 어시스트 기능)
• Φ50~Φ200mm, 직사각형 기판, Si, 화합물, 유리, 세라믹 등 각종 기판에 대응

Model： EVD

• 리프트 오프 성능 향상으로 더 많은 기판 장착 가능
• 다양한 증발원(EB, 저항, EB+저항)을 탑재 가능
• PC에 의한 뛰어난 조작성・기능(레시피 기능, 데이터 로깅, 메인터넌스 어시스트 기능)
• Φ50~Φ200mm 기판, 직사각형 기판, Si, 화합물, 유리, 세라믹 각종 기판에 대응

용도

• 파워 디바이스와 같은 화합물 관련
• LED, LD, 고속 등 디바이스
• 각종 실험용
• 기타 전자부품 일반

사양