CSTIC 2024にて3D・チップレット集積向けプラズマエッチング技術について発表します|ニュース|アルバック
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2024.02.29
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CSTIC 2024にて3D・チップレット集積向けプラズマエッチング技術について発表します

株式会社アルバックは、3D・チップレット集積向けプラズマエッチング技術について、中国およびアジアで最も包括的な年次半導体技術会議、Conference of Science & Technology for Integrated Circuits (CSTIC) 2024で発表します。

開催期間 2024年317() 2024318() (CST)
開催会場 Shanghai International Convention Center, Shanghai, China
発表日時 2024年317() 14:0014:20 (CST)
SYMPOSIUM VII Packaging and Assembly, Session I
セッション名 "3D and Advanced Packaging Technologies"
発表タイトル "Challenges of Semiconductor Micro Via Fabrication Technology for 3D Chiplet Interconnect"

関連外部サイト

CSTIC 2024について(英語サイト)

https://www.semiconchina.org/en/137

https://www.semiconchina.org/en/5

参考関連サイト

https://www.ulvac.co.jp/news/20221006a/

https://www.titech.ac.jp/news/2022/064932

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