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沿革

1952年 8月 各種真空装置の輸入販売を目的として創業
1964年 1月 当社外国事業部リライアンス部を分離し、米国 Reliance Electric and Engineering Co.(現 Reliance Electric Limited)と共同出資で日本リライアンス株式会社を設立
10月 熱分析機器の専門メーカーとして真空理工株式会社(現アルバック理工(株))を設立
1966年 4月 当社真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式会社（現：アルバックマテリアル株式会社）を設立
1971年 7月 小型の真空ポンプ・真空機器およびその周辺機器の専門メーカーとして真空機工株式会社(現アルバック機工(株))を設立
1972年 7月 超材料研究所を千葉県に新設
1975年 12月 対米輸出の拠点として米国デラウェア州ドーバ市にULVAC North America Corp.(現ULVAC Technologies, Inc.)を設立
1978年 4月 水晶振動子および光学用薄膜製造装置の専門メーカーである株式会社昭和真空と提携
1979年 1月 当社サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式会社(現アルバックテクノ(株))を設立
当社SI事業部を分離し、アルバック成膜株式会社を設立
1981年 10月 九州地区の営業活動の拡大のためにアルバック九州株式会社を設立
米国 Helix Technology Corp.(CTI Cryogenics) と共同出資でクライオポンプの製造販売を行なうアルバック・クライオ株式会社を設立
1982年 11月 米国The Perkin Elmer Corp.(Physical Electronics Div.)と共同出資で表面分析装置等の製造・販売を行なうアルバック・ファイ株式会社を設立
研究活動の拡充のため筑波学園都市内に超材料研究所筑波研究所を設立
1985年 4月 関西の拠点工場としてアルバック精機株式会社を設立
1987年 1月 大型装置の生産体制強化のため、八戸市に東北真空技術株式会社を設立
5月 アルバック・グループの連携を強化し、経営指導、技術開発、特許、契約、マーケッティング等の共通業務の集約効率化を図るため、株式会社アルバック・コーポレートセンターを設立
1990年 5月 半導体製造装置の高性能化と需要増に対応して、富士裾野に超クリーン工場完成
1994年 1月 ユーザーの生産技術面に対する支援のためアルバックテクニカルサポートセンターを開設
1995年 4月 第1半導体装置事業部がISO9001認証取得。
1997年 7月 生産技術力の向上、情報システムの整備などを目的に生産技術開発センターを新設
1998年 4月 規格品事業部がISO9001認証取得
7月 購買・物流部門強化を目的に購買センターを新設
米国の半導体関連の調査法人、VLSI RESEARCH社から「最も顕著な改善を行った装置サプライヤー」として評価を受ける
電子機器事業本部、第1電子機器事業部、第2電子機器事業部ならびに制御機器事業部、購買、配送など関連部門が ISO9001認証取得
アルバックグループの総合力を結集した「アルバック・ソリューションズ」活動を始動
1999年 1月 アルバックグループとして中古機ビジネスに進出
2月 超高真空事業部（現：先端機器事業部）、制御機器事業部がISO9001認証取得
4月 第2半導体装置事業部がISO9001認証取得
米国ラムトロン社と「次世代強誘電体メモリ」の開発で全面提携
11月 米国ファイ社、アルバック台湾と共同出資で台湾に表面分析サービス会社「ファイ・アルバック台湾」を設立
産業機器事業部がISO9001認証取得、これにより全社の部署で認証取得完了
300mmウェハ対応の量産用メタライゼーション装置「Entron」を開発
2000年 4月 米国コダック社、三洋電機と有機ELディスプレイ製造装置の開発で技術提携
7月 有機EL作成装置「SATELLA」が第5回アドバンスト・ディスプレイ・オブ・ザ・イヤー装置部門でグランプリを受賞
2001年 2月 裾野 半導体技術研究所本格稼動開始
3月 茅ヶ崎本社工場、富士裾野工場がISO14001認証取得
4月 第2半導体装置事業部の裾野工場移転により、半導体事業が裾野に集結
7月 社名を株式会社アルバック（英文名 ULVAC, Inc.）に変更
11月 アルバック台湾CIP(Continuous Improvement Program)工場を桃園県に開設
2002年 1月 ULVAC SINGAPORE PTE LTDを真空冶金（現：アルバックマテリアル株式会社）、稲畑産業との合弁で設立
3月 大面積高輝度平面ランプの開発
可視光応答型光触媒膜作成装置および評価装置を発表
7月 アルバック東日本(株)と高山アルバック(株)との対等合併によりアルバック イーエ ス株式会社を設立
8月 創立50周年
9月 八戸に大型部品加工用・表面処理・洗浄の一貫工場新設
11月 表面分析のアルバック・ファイが親会社の表面分析装置部門を買収、アルバックの完全子会社として世界に進出
2003年 2月 次世代半導体向けLow-k膜の販売及び委託成膜業務開始
5月 ドライポンプ省電力化アタッチメントECO-SHOCKが、第23回優秀省エネルギー機器 日本機械工業連合会会長賞に続き、第3回日本真空工業会・日本工業新聞社社長賞を受賞
大型基板FPD用製造装置の生産体制強化
90nm 技術ノード対応フォトマスクドライエッチング装置の受注を開始
7月 中国・蘇州にアルバックの新たな拠点誕生
10月 中国に成都東方儀器有限公司と合弁で成都東方愛発科真空技術有限公司を設立
11月 MEMSファンドリーサービス開始
リソグラフィーなどMEMSの加工ラインを整備し、成膜・エッチングからダイシング・ボンディングまでの一貫ラインを立ち上げ、MEMSファンドリーサービスを開始
2004年 1月 茅ヶ崎本社工場に新社屋完成
2月 米国JDSユニフェーズ社と新たにライセンス契約を締結
JDSユニフェーズ社が特許を取得しているメタモード®スパッタリングと呼ばれている光学膜用スパッタリング技術に関するグローバルな専用実施権付ライセンス契約を締結
4月 東京証券取引市場第一部に上場
4月 資本金38億5千万円より81億円に増資
5月 資本金81億より89億5千万円に増資
7月 韓国ULVAC精密株式会社　設立
PS Tech.株式会社　設立
韓国現地法人、韓国アルバック(株)に大型基板液晶ディスプレイ製造装置用生産工場の建設および大型装置用部品製作を目的とした新会社(韓国ULVAC精密株式会社)、部品表面処理を目的とした新会社(PS Tech.株式会社)を設立
8月 愛発科啓電(上海)科技術有限公司を設立
中国に啓電実業股分有限公司と当社子会社である日本リライアンス株式会社の合弁で、制御盤及び自動制御駆動装置の製造・販売を目的とした新会社を設立
12月 資本金を89億5000万円より134億6779万7500円に増資
2005年 1月 産業用真空炉の生産のため、愛発科中北真空（沈陽）有限公司を設立
1月 成都東方愛発科真空技術有限公司を子会社化し、愛発科東方真空（成都）有限公司に改称
1月 真空ポンプ用部品製造のため、愛発科天馬電機（靖江）有限公司を設立
3月 アルバック精機株式会社の新工場（大型ポンプ専用工場）を増設
3月 バイオ分野での事業拡大をはかるため、株式会社イニシアムを子会社化
4月 真空冶金(株)がUMAT(株)を合併し、アルバックマテリアル(株)（現･連結子会社）に商号変更
4月 フラットパネルディスプレイ事業拡大のため、富士通ヴィエルエスアイ(株)より設備事業譲り受け
4月 ロシアに製品の拡販及びカスタマーサポート業務を目的としたOOOULVACを設立
6月 ULVAC KOREA, Ltd.に生産拡大のため玄谷工場を増設
6月 アルバック機工(株)宮崎事業所に小型真空ポンプの評価、検証を目的とした信頼性評価センターを設置
11月 英国Cambridge Display Technology Limitedが保有するLitrex Corporation株式（50％）を取得し、100％子会社
11月 タイに販売やカスタマーサポートを目的としたULVAC（THAILAND）LTDを設立
12月 台湾にフラットパネルディスプレイ製造装置などの製造を目的としたULVAC Taiwan Manufacturing Corporationと、部品加 工や部品洗浄などカスタマーサポートを目的としたUltra Clean Precision Technologies Corp.を設立
2006年 3月 中国に中国における子会社の管理統括等を目的とした愛発料（中国）投資有限公司を設立
4月 台湾に制御盤等の製造を目的としたULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.を設立
7月 韓国に研究開発を目的としたULVAC Reseach Center KOREA,Ltd.を設立
7月 台湾に研究開発を目的としたULVAC Reseach Center TAIWAN,Inc.を設立
7月 精密ステージを製造・販売しているシグマテクノス(株)の株式（70%）を取得
8月 マレーシアに販売やフィールドサポートを目的としたULVAC MALAYSIA SDN.BHD.を設立
9月 神奈川県茅ヶ崎市に真空装置部品の表面処理を目的とした、アルバックテクノ(株)ケミカルセンターを新設
9月 宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工(株)宮崎事業所を増設
11月 愛知県春日井市にフラットパネルディスプレイ製造装置の生産能力拡充のため、愛知工場を新設
2007年 6月 インドビジネス拡大のため、ULVAC, Inc., India Branchを設立
9月 埼玉県日高市に大型の精密ステージの製造・販売するためシグマテクノス(株)本社工場を新設
11月 啓電実業股份有限公司の持株譲渡に伴い愛発科啓電科技（上海）有限公司を愛発科自動化科技(上海）有限公司に商号変更
2008年 2月 開発委託設計を目的としたアルバック ワイ・エム・イー(株)（現・アルバックエンジニアリング(株)）を設立
7月 フィールドサポートを専門とした、アルバックヒューマンリレーションズ(株)を設立
8月 台湾における経営の合理化などを目的としてULVAC TAIWAN INC.を存続会社とし、ULVAC Taiwan Manufacturing Corporationと合併
8月 韓国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、ULVAC Materials Korea,Ltdを設立
10月 スパッタリングターゲット材の効率的な生産と開発体制の強化を目的として、アルバックマテリアル(株)から当社へ事業を移し、洗浄事業のサポート体制の充実を目的として、アルバックテクノ(株)とアルバック九州(株)へ事業譲渡
12月 装置メーカーとして世界初の太陽電池用評価試験設備を新設、テュフラインランドジャパンとの協力で合意
2009年 1月 アルバックの「薄膜太陽電池一貫製造ライン」が「2008年日経優秀製品・サービス賞　最優秀賞　日本経済新聞賞」を受賞
2月 アルバック茅ヶ崎工場内に薄膜計測機器用のデモルームが完成
リークディテクターのデモルームEngineering Service site（ESS）を日本、韓国、中国、台湾に開設
4月 中国にタッチパネルの製造などを目的とした愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を設立
6月 ディスプレイ事業を東アジアで機動的に事業展開するため、Litrex Corporationを解散し、当社にて同事業を継続
9月 地元サッカーチーム湘南ベルマーレのCSRパートナーに参加
12月 中国に研究開発を目的とした愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司を設立
2010年 3月 研究開発強化のため、富里工業団地に千葉超材料研究所を新設移設　
10月 当社がアルバックマテリアル(株)を吸収合併、アルバック九州(株)のサービス、洗浄、表面処理事業をアルバックテクノ(株)に事業譲渡。また、アルバック九州(株)がアルバック精機(株)を吸収合併
2011年 7月 韓国での研究開発強化のため、ULVAC KOREA,Ltd.の付属研究所として韓国超材料研究所を設立

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