溅射装置
Model： SMD
这是型号：SMD的多室型溅射系统，总销售记录超过1,400台。它主要用于高清显示器，可成膜金属薄膜、ITO、IGZO、介电薄膜等。
特性
- 支持多种成膜工艺，拥有丰富的经验和数据
- 通过仅转移基材并采用侧面沉积法实现低颗粒排放
- 拥有触摸传感器面板低温成膜技术
- 引入自动成膜工艺调节技术
用途
- 用于高清显示器的TFT
- 触控板
规格
| Model | G6 | G8.5～G8.6 | |
| SMD-1800 | SMD-2500X | ||
| 基材尺寸（毫米） | 1500 × 1850 | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | |
| 成膜方法 | 侧面沉积法、固定基板沉积 | ||
| 房间配置 | 1) 采购/取出室 (※1) | 2个房间 | |
| 2) 搬运室 | 1个房间 | ||
| 3）溅射室 | 最多4个房间 | ||
| 高真空抽气系统 | 低温泵或涡轮分子泵 | ||
| 基板传输系统 | 真空搬运机器人（双级臂） | ||
*1基材加热器可作为选件安装