溅射设备
Model： SMD
这是一款型号为SMD的多腔室型溅射系统，累计销售已超过1400台。该设备主要用于高分辨率显示器领域，可沉积金属薄膜、ITO、IGZO、介电薄膜等。
特长
- 支持多种成膜工艺，拥有丰富的经验和数据
- 通过仅传输基板及侧面沉积方式，实现低颗粒污染
- 拥有适用于触摸传感器面板的低温成膜技术
- 引入自动成膜工艺调节技术
用途
- 用于高清显示器的TFT工艺
- 触摸屏
规格
| Model | G6 | G8.5～G8.6 | |
| SMD-1800 | SMD-2500X | ||
| 基板尺寸（mm） | 1500 × 1850 | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | |
| 成膜方法 | 侧面沉积法、固定基板沉积 | ||
| 腔体构成 | 1) 装载/卸载室 (※1) | 2间 | |
| 2) 搬送室 | 1腔室 | ||
| 3）溅射室 | 最多4个 | ||
| 高真空排气系统 | 低温泵或涡轮分子泵 | ||
| 基板搬运系统 | 真空搬运机器人（双臂式） | ||
*1基材加热器可作为选件安装