溅射设备
Model： SMD
这是一款型号为SMD的Inline式垂直溅射设备，累计销售量超过1400台。主要用于大型显示 器领域，可沉积金属薄膜、ITO、IGZO、介电薄膜等。
特长
- 支持多种成膜工艺，拥有丰富的经验和数据
- 高生产性
- 引入自动成膜工艺调节技术
用途
- 大尺寸显示器用TFT工艺
规格
| Model | G8.5～G8.6 | G10.5 | |
| SMD-2400F | SMD-3400 | ||
| 基板尺寸（mm） | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | 2940 × 3370 | |
| 成膜方法 | 侧面沉积法、固定基板沉积 | ||
| 腔体构成 | 1）基板交接j处 | 1腔室 | |
| 2) 装载/卸载室 | 1腔室 | ||
| 3) 加热室 | 1腔室 | ||
| 4）溅射室 | 最多4个 | ||
| 高真空排气系统 | 涡轮分子泵 | ||
| 基板搬运系统 | 托盘+磁悬浮搬送系统 | ||
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