溅射设备

Model： SIH, SCH

适用于多种材料的成膜，可处理各类基板。采用ULVAC独创的输送系统，实现了优异的成本效益。该设备具备高度灵活性，是能满足广泛应用需求的理想inline式溅射设备。

特长

通过储料室实现连续自动生产
低成本通过式成膜
节省空间并减少布线
采用载板输送方式，可以轻松改变基板尺寸

用途

用于电子元件

规格

Model	SIH	SCH
成膜方法	直通式
成膜方向	向上或向下

产品介绍