溅射装置

Model： SIH, SCH

这些系统适用于多种材料的成膜，并可用于各种基材。ULVAC 独特的传输系统提供了卓越的性价比。这些系统高度灵活，是适用于各种应用的理想在线溅射系统。

特性

储藏室可连续自动生产
低成本成膜
节省空间并减少布线
载体运输系统可以轻松改变基材尺寸。

用途

用于电子元件

规格

Model	SIH	SCH
成膜方法	直通式
成膜方向	向上或向下

产品介绍