PE-CVD装置
Model： CMD
这是使用SiH4、TEOS 等形成 a-Si 膜、氧化硅薄膜和用于氮化膜沉积的多室型PE-CVD 系统。
特性
- 适用于高温工艺的高可靠性搬运系统
- 实现长期稳定的沉积速率
- 退火室耐高温（最高550℃），温度分布良好
用途
- 用于高清显示器的TFT
- 触控板
规格
| Model | G4.5 | G5.5 | G6 | |
| CMD-950 | CMD-1500HT | CMD-1800HT | ||
| 基材尺寸（毫米） | 730 × 920 | 1300 × 1500 | 1500 × 1850 | |
| 房间配置 | 1) 进料室/出料室 | 2个房间 | 1间 (1艘船2段类型) | |
| 2) 加热室 | 1个房间 | |||
| 3) 搬运室 | 1个房间 | |||
| 4) 反应室 | 最多5间 (设置加热室时为4间) |
最多6间 (设置加热室时为5间) |
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| 真空排气系统 | 干泵+机械助力泵 | |||
| 基板传输系统 | 真空机器人 (两级臂) | |||