复合工艺设备
Model：LX-200
这是一款专为二次电池设计，可进行锂蒸镀及各种材料的溅射。它适用于研发现场。
特长
- 可在锂蒸镀前后于In-situ环境中进行溅射
- 节省空间的设计
- 可根据成膜材料选择直流或射频电源
- 可处理200mmX200mm的基板
用途
- 二次电池材料开发
规格
| Model | LX-200E | LX-200S | LX-200ES | |
| 基板尺寸 | Max 200mm□ | |||
| 成膜区域 | Max 180mm□ | |||
| 设备配置 | 1)装载/卸载室 | 1腔室 | 1腔室 | 1腔室 |
| 2)搬运室 | 1腔室 | 1腔室 | 1腔室 | |
| 3)蒸镀室(坩埚，向上沉积) | 1腔室 | - | 1腔室 | |
| 4）溅射室（向上沉积，最多4个阴极） | - | 1腔室 | 1腔室 | |