スパッタリング装置ロードロック式

マルチチャンバ型
スパッタリング装置SME-200シリーズ

プロセス室を複数搭載可能（最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200）なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

特長

Φ200mm基板を搬送可能
プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ

誘電体用モジュール
高温成膜モジュール
精密分布モジュール
エッチングモジュール

用途

電子部品
MEMS
パワーデバイス
LED

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