SVシリーズは縦型のバッチ式スパッタリング装置です。 ディスクスタンパ専用のSV-200と基板を多量に処理可能なカルーセル型があります。
SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | |
標準排気系 | 8”クライオポンプ | 12”クライオポンプ | 12”クライオポンプ | 16”クライオポンプ |
到達圧力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
デポ方向 | サイド | サイド | サイド | サイド |
成膜エリア 均一性 静止 回転 |
Φ200mm±5% | L300mm±10% | L300mm±10% | L400mm±10% |
基板加熱 | 無し | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
制御系 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 |
オプション SV-200を除く |
ターボポンプ | 非水冷電極 | ||
油拡散ポンプ | APC機構 | |||
多元同時デポ | 基板反転機構 | |||
ダウンデポ | 反応性スパッタ | |||
コンベンショナルカソード | ||||
強磁性体用カソード | ||||
RFエッチクリーニング(SV-4540) | ||||
バイアス機構(SV-4540) |
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