ULVAC
ULVACの磁気デバイス製造用装置は、高品質な薄膜形成や多様な材料・膜構造に対応し、安定した量産をサポートします。各種磁気センサーやMRAMなどの不揮発性メモリに使用される磁性材料加工にも対応し、成膜からエッチングまで幅広く工程を支援します。
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