스퍼터링 장치
Model： SV
기판 대량으로 처리할 수 있는 세로형 배치식 형 스퍼터링 장치입니다. 심플하고 사용하기 쉬운 범용 모델로서 폭넓은 요구에 대응합니다.
특징
- 회전 드럼형이므로 한 번에 많은 기판 장착 처리가 가능. 소~중규모 또는 소량 다품종의 생산에 최적
- 각형 기판, 성막에 대응 가능
용도
- 각종 기판 상에 전극막 성막, 절연막, 유전체 막 성막
사양
| Model | SV-4540 | SV-6040 | SV-9040 |
| 표준 배기계 | 12” 크라이오 펌프 | 12” 크라이오 펌프 | 16” 크라이오 펌프 |
| 도달 압력 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| 성막 방향 | 사이드 | 사이드 | 사이드 |
| 성막 영역 균일성 정지 회전 |
L300mm±10% | L300mm±10% | L400mm±10% |
| 기판 가열 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
| 제어 시스템 | 자동 | 자동 | 자동 |
| 옵션 SV-200 제외 |
터보 펌프 | 비 수냉 전극 | |
| 오일 확산 펌프 | APC 메커니즘 | ||
| 다원 동시 입금 | 기판 반전 기구 | ||
| 다운 디포지션 | 반응성 스퍼터링 | ||
| 컨벤셔널 캐소드 | |||
| 강자성체용 캐소드 | |||
| RF 에칭 청소(SV-4540) | |||
| 바이어스 기구(SV-4540) | |||
