SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。SMDシリーズだけで1000台をこえる豊富な納入実績を持ち、様々な生産環境下で稼動しております。生産現場から寄せられる生の声をタイムリーに反映しその信頼性を更に向上させています。
型式 | G4.5 | G6 | G8.5 | |
SMD-950X | SMD-1800X | SMD-2400C | ||
X-type | Vertical-Type | |||
基板サイズ(mm) | 730 X 920 | 1500 X 1850 | 2200 X 2500 | |
部 屋 構 成 |
1)仕込/取出室 | 2 | 2 | 1 |
2)加熱室 | 1 | - | ||
3)搬送室 | 1 | 1 | - | |
4)スパッタ室 | 2 (Up to 3 cathodes) | 2 (Up to 2 cathodes) | 4 | |
5)基板受け渡しPosition | - | - | 1 | |
高真空排気系 | クライオポンプ or ターボ分子ポンプ | ターボ分子ポンプ | ||
基板移載システム | 1 or 2段アーム | 2段アーム | Tray+Roller搬送System |
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