ULVAC
アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけるエッチングまで、あらゆるニーズに対応します。
研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX
量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800
研究開発向け NLDドライエッチング装置 NLD-570
オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700
バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置uGmni-200, 300
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