濺射裝置
Model： SMD
這是型號：SMD的多腔體式濺鍍系統，總銷售記錄超過1,400台。它主要用於高精度顯示器，可沉積膜金屬薄膜、ITO、IGZO、介質膜等。
特性
- 支援多種沉積膜製程，擁有豐富的經驗和數據
- 透過僅轉移基板並採用側面沉積法實現Particle少排放
- 擁有觸控感應器面板低溫沉積膜技術
- 引入自動沉積膜製程調節技術
用途
- 用於高精度顯示器的TFT
- 觸控板
規格
| Model | G6 | G8.5～G8.6 | |
| SMD-1800 | SMD-2500X | ||
| 基板尺寸（毫米） | 1500 × 1850 | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | |
| 沉積膜方法 | 側面沉積式固定基板沉積 | ||
| 房間配置 | 1) 採購/取出室 (※1) | 2室 | |
| 2) 搬運室 | 1室 | ||
| 3）濺鍍室 | 最多4室 | ||
| 高真空抽氣系統 | 低溫泵或渦輪分子泵浦 | ||
| 基板傳送系統 | 真空傳送機械手臂（雙級臂） | ||
*1基板加熱器可作為選購件安裝