濺射裝置
Model： SMD
這是一台SMD型Inline式縱型濺鍍設備，累計銷售量超過1,400台。主要用於大型顯示器，可沉積膜金屬薄膜、ITO、IGZO、介質膜等。
特性
- 支援多種沉積膜製程，擁有豐富的經驗和數據
- 高工作效率
- 引入自動沉積膜製程調節技術
用途
- 大尺寸顯示器用TFT
規格
| Model | G8.5～G8.6 | G10.5 | |
| SMD-2400F | SMD-3400 | ||
| 基板尺寸（毫米） | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | 2940 × 3370 | |
| 沉積膜方法 | 側面沉積式固定基板沉積 | ||
| 房間配置 | 1）基板交割 | 1室 | |
| 2) 進料室/出料室 | 1室 | ||
| 3) 加熱室 | 1室 | ||
| 4）濺鍍室 | 最多4室 | ||
| 高真空抽氣系統 | 渦輪分子泵浦 | ||
| 基板傳送系統 | 托盤+磁浮輸送系統 | ||
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