濺射裝置

Model： SIH, SCH

這些系統適用於多種材料的沉積膜，並可用於各種基板。 ULVAC 獨特的傳輸系統提供了卓越的性價比。這些系統高度靈活，是適用於各種應用的理想線上濺鍍系統。

特性

儲藏室可連續自動生產
低成本沉積膜
節省空間並減少配線
載具運輸系統可以輕鬆改變基板尺寸。

用途

用於電子元件

規格

Model	SIH	SCH
沉積膜方法	直通式
沉積膜方向	向上或向下

產品介紹