作为自动驾驶所需的LiDAR等3D传感技术的光源,半导体激光器的市场变得活跃起来。其中之一是具有小型化、节能等优点的VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser),下面介绍面向VCSEL的干法工艺。 … VCSEL制造工艺
分类: VCSEL
VCSEL加工技术
介绍VCSEL工艺所需的干法蚀刻技术。 … VCSEL加工技术
作为自动驾驶所需的LiDAR等3D传感技术的光源,半导体激光器的市场变得活跃起来。其中之一是具有小型化、节能等优点的VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser),下面介绍面向VCSEL的干法工艺。 … VCSEL制造工艺
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