TECHNICAL JOURNAL
No.82 September/2018
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1

ウェットリンス機構付きメタルエッチャーの開発

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2

Cu 合金スパッタリングターゲットの開発

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3

エネルギーハーベスト実現に向けたスピンゼーベック効果による面内発電熱電子素子の開発

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4

次世代超伝導加速空洞に向けた窒化ニオブ薄膜の開発

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5

高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプ「LS シリーズ」

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