スパッタリング装置
ロードロック式
光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズ
光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモード® の技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。
米国JDSユニフェーズ社と新たにライセンス契約を締結。
ライセンス契約締結により、JDSユニフェーズ社が特許を取得しているメタモード® スパッタをすべての光学用途で制限なく装置販売いたします。
特長
- 光学特性に優れた成膜が可能
- 低温成膜が可能
- ダブルカソード採用で異常放電を抑制
- 膜厚再現性の良い成膜が可能
- 低ダメージカソード等の豊富なオプションを用意
用途
- デジタルカメラ等のIRカットフィルタ
- プロジェクタ等のダイクロイックフィルタ
- DVD用の位相ミラー
- その他ARなどの光学薄膜
