スパッタリング装置
インライン式
縦型スパッタリング装置SMD シリーズ
SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜するインライン式スパッタリング装置です。縦型式は主に大型ディスプレイ用途です。
特長
- 高い生産性
- 成膜条件など基板個別管理が容易
- 成膜物質に応じたカソードラインナップ
- 豊富な経験・データに支えられた、広汎な成膜プロセス対応
（SMDシリーズ合計1300台以上の販売実績 ）
用途
- 大型ディスプレイ用TFT
仕様
| 型式 | G8.5~G8.6 | G10.5 | |
| SMD-2400F | SMD-3400 | ||
| 基板Size（mm） | 2200 × 2500 ~ 2290 × 2620 | 2940 × 3370 | |
| 成膜方式 | サイドデポ方式基板固定成膜 | ||
| 部屋構成 | 1) 基板受け渡し | 1室 | |
| 2) 仕込/取出室 | 1室 | ||
| 3) 加熱室 | 1室 | ||
| 4) Sputter室 | 最大 4室 | ||
| 高真空排気系 | ターボポンプ | ||
| 基板移載システム | Tray ＋ 磁気浮上搬送System | ||
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