スパッタリング装置
インライン式
スパッタリング装置SMD シリーズ
SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。SMDシリーズだけで1000台をこえる豊富な納入実績を持ち、様々な生産環境下で稼動しております。生産現場から寄せられる生の声をタイムリーに反映しその信頼性を更に向上させています。
特長
- 基板のみの搬送及びサイドデポ方式による低パーティクル
- 省スペース設計
- 成膜条件など基板個別管理が容易
- 成膜物質に応じたカソードラインナップ
- 豊富な経験・データに支えられた、広汎な成膜プロセス対応
用途
- カラーフィルター
- ディスプレイ（TFT、スマートフォン、薄型テレビ（2K、4K）、OLED）
仕様
| 型式 | G4.5 | G6 | G8.5 | |
| SMD-950X | SMD-1800X | SMD-2400C | ||
| X-type | Vertical-Type | |||
| 基板サイズ（mm) | 730 X 920 | 1500 X 1850 | 2200 X 2500 | |
| 部 屋 構 成 |
1）仕込／取出室 | 2 | 2 | 1 |
| 2）加熱室 | 1 | - | ||
| 3）搬送室 | 1 | 1 | - | |
| 4）スパッタ室 | 2 (Up to 3 cathodes) | 2 (Up to 2 cathodes) | 4 | |
| 5）基板受け渡しPosition | - | - | 1 | |
| 高真空排気系 | クライオポンプ or ターボ分子ポンプ | ターボ分子ポンプ | ||
| 基板移載システム | 1 or 2段アーム | 2段アーム | Tray+Roller搬送System | |
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