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스퍼터링 장치

Model: SMV

PLP 실장의 시드층(Ti/Cu) 형성에 사용하는 스퍼터링 장치로서 뛰어난 비용 성능을 실현하고 있습니다.

특징

  • 반전 기구에 의해 양면 성막에 대응이 가능
  • 저온 성막과 높은 생산성
  • 얇은 기판에 대응하는 기판 유지 기구
  • 높은 밀착성
  • 종형 고정 성막 방식
  • 500mm□~600mm□ 기판에 대응

용도

  • 패널 실장

제품소개

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