스퍼터링 장치
Model： SMD
총 1400대 이상의 판매 실적을 가진 Model: SMD의 멀티 챔버식 스퍼터링 장치입니다. 주로 고화질 디스플레이 용도로 금속막, ITO, IGZO, 유전체 막 성막의 성막이 가능합니다.
특징
- 풍부한 경험과 데이터에 힘입어 광범위한 성막 프로세스에 대응
- 기판의 반송 및 사이드 디포 방식에 의해, 낮은 파티클 적은 파티클을 실현
- 터치 센서 패널용 저온 성막 기술을 가진다
- 자동 성막 공정 튜닝 기술 도입
용도
- 고화질 디스플레이용 TFT
- 터치 센서 패널
사양
| Model | G6 | G8.5～G8.6 | |
| SMD-1800 | SMD-2500X | ||
| 기판 사이즈(mm) | 1500 × 1850 | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | |
| 성막 방식 | 사이드 디포 방식 기판 고정 성막 | ||
| 방 구성 Chamber구성 | 1) 구매/취출실(※1) | 2실 | |
| 2) 반송실 | 1실 | ||
| 3) 스퍼터실 | 최대 4실 | ||
| 고진공 배기계 | 크라이오 펌프 or 터보 분자 펌프 | ||
| 기판 이송 시스템 | 진공 반송 로봇 (2단 암) | ||
※1 기판 가열 히터를 옵션 탑재 가능