스퍼터링 장치
Model： SMD
총 1400대 이상의 판매 실적을 가진 Model:SMD의 인라인식 수직 스퍼터링 장치 입니다. 주로 대형 디스플레이 용도로 금속막, ITO, IGZO, 유전체 막 성막의 성막이 가능합니다.
특징
- 풍부한 경험과 데이터에 힘입어 광범위한 성막 프로세스에 대응
- 높은 생산성
- 자동 성막 공정 튜닝 기술 도입
용도
- 대형 디스플레이용 TFT
사양
| Model | G8.5～G8.6 | G10.5 | |
| SMD-2400F | SMD-3400 | ||
| 기판 사이즈(mm) | 2200 × 2500 ～ 2290 × 2620 | 2940 × 3370 | |
| 성막 방식 | 사이드 디포 방식 기판 고정 성막 | ||
| 방 구성 Chamber구성 | 1) 기판 전달 | 1실 | |
| 2) 구매/취출실 | 1실 | ||
| 3) 가열실 | 1실 | ||
| 4) 스퍼터실 | 최대 4실 | ||
| 고진공 배기계 | 터보 분자 펌프 | ||
| 기판 이송 시스템 | 트레이 + 자기 부상 이송 시스템 자기부상반송시스템 | ||
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