스퍼터링 장치
Model： SIH, SCH
이러한 장치는 다양한 재료의 성막에 적합하며 다양한 기판에 대응할 수 있습니다. ULVAC 독자적인 반송 시스템을 채용함으로써, 뛰어난 코스트 퍼포먼스를 실현하고 있습니다. 높은 유연성을 갖추고 폭넓은 용도에 대응할 수 있는 이상적인 인라인식 스퍼터링 장치입니다.
특징
- 스토커실에 의해 연속 자동 생산이 가능
- 저비용 성막
- 공간 절약, 소배선화 실현
- 캐리어 반송 방식에 의해, 기판 사이즈 변경이 용이
용도
- 전자부품용
사양
| Model | SIH | SCH |
| 성막 방식 | 통과형 | |
| 성막 방향 | 업 or 다운 | |