복합 공정 장비
Model：LX-200
2차 전지용으로 리튬 증착과 각종 재료의 스퍼터링이 가능한 성막 장치입니다. 개발 현장에서 사용하실 수 있습니다.
특징
- 리튬 증착 전후로 In-situ 환경에서 스퍼터링이 가능
- 공간 절약 설계
- 성막 재료에 맞춘 DC, RF 전원이 선택 가능
- 200mm□사이즈의 기판 에 성막 가능
용도
- 이차 전지 재료 개발
사양
| Model | LX-200E | LX-200S | LX-200ES | |
| 기판 사이즈 | Max 200mm□ | |||
| 성막 | Max 180mm□ | |||
| 장비 구성 | 1) 구매/취출실 | 1실 | 1실 | 1실 |
| 2) 반송실 | 1실 | 1실 | 1실 | |
| 3) 증착실 (도가니, 디포 업) | 1실 | - | 1실 | |
| 4) 스퍼터실 (디포업, 최대 4 캐소드) | - | 1실 | 1실 | |