蒸着装置
Model： EWL
真空下でリチウムを加熱し、蒸着する巻取式成膜装置です。良質な表面状態をもつ極薄リチウム箔の製造に最適な方法です。
特長
- 極薄の銅箔をしわなく搬送することが可能
- リチウム材料の無駄を最小限に抑えるために、最適な設計がされている
用途
- 全固体電池・高容量バッテリー用金属リチウム負極の研究開発 など
仕様
| Model | EWL-030 |
| 蒸着材料 | Li |
| フィルム材料 | Cu箔 |
| フィルム厚 | 6～10μm |
| 成膜面 | 片面 |
| フィルム幅 | Max 300mm |
| 搬送速度 | Max 10m/min |
| フィルムロール径 | Max Φ220mm/コア 3inch |
| 材料形状 | インゴット、wire 等 |