熱処理装置

横型熱処理装置 Hシリーズ

30年以上の実績を誇る信頼性の高い熱処理炉です。200mmシリコンウェーハの酸化、拡散、アニール等の熱処理に利用できます。

特長

酸化炉、拡散炉、アニール炉として採用されている横型炉です。
1つの装置で異なるプロセスも選択可能です。
3段、4段構成とすることで省スペースを図っています。
5ゾーンヒータはそれぞれ独立制御しており、均熱性、安定性に優れた温度制御が可能です。
自社製制御系を搭載しており、容易で信頼性の高い運転を実現しています。
H83-125、H84-125はボートエレベータを標準装備しており、上段へのローディングも容易です。
パイロジェニック酸化、ウェット酸化、ドライ酸化、オキシ塩化リン(POCl₃)や三臭化ホウ素(BBr₃)を使用したリン拡散やボロン拡散、アニールなどの処理が行えます。